石墨舟和硅片都具有較好的導(dǎo)電性能，但它們的應(yīng)用場(chǎng)景和導(dǎo)電方式有所不同。石墨舟是一種用于工業(yè)煉制和加工的舟艇，由于石墨具有高導(dǎo)電性能，因此石墨舟在液態(tài)金屬中的導(dǎo)電性能較好。而硅片作為半導(dǎo)體材料，其導(dǎo)電方式則是通過控制半導(dǎo)體材料的摻雜和結(jié)構(gòu)來實(shí)現(xiàn)。因此，雖然石墨舟和硅片都具有較好的導(dǎo)電性能，但它們的導(dǎo)電方式和應(yīng)用場(chǎng)景有所不同。

石墨舟導(dǎo)電性能明顯優(yōu)于硅片的導(dǎo)電性能，因此石墨舟和硅片在鍍膜過程中存在著明顯的競(jìng)爭(zhēng)，導(dǎo)致石墨舟與硅片接觸的區(qū)域沉積速率低，形成嚴(yán)重的色差，以致電池片外觀不良和電學(xué)性能較差，因而必須對(duì)石墨舟進(jìn)行氮化硅飽和處理，使石墨舟與硅片具有相近的導(dǎo)電性。

石墨舟為什么要飽和

舟的飽和程度足夠且內(nèi)壁上沉積的氮化硅膜不是很厚，使得鍍膜的均勻性表現(xiàn)良好，是石墨舟的最佳狀態(tài)。而石墨舟使用后期，由于內(nèi)壁上沉積的氮化硅很厚，會(huì)導(dǎo)致局部氮化硅膜脫落，引起舟的表面狀態(tài)發(fā)生變化，并且氮化硅膜很厚會(huì)引起舟的導(dǎo)熱性能發(fā)生變化，局部過厚會(huì)引起色差偏的產(chǎn)生。因此石墨舟飽和程度不夠和石墨舟使用次數(shù)太多都會(huì)使鍍膜的均勻性變差。

石墨舟使用次數(shù)太多會(huì)使內(nèi)壁沉積過厚的氮化硅膜，就需要將石墨舟內(nèi)壁表面的氮化硅膜洗掉，重新進(jìn)行飽和工藝之后再運(yùn)行工藝。隨著技術(shù)發(fā)展，工藝過程中對(duì)氮化硅膜厚度的要求越來越厚，以及設(shè)備功率越來越大，會(huì)增加洗舟次數(shù)，降低石墨舟的壽命。

為了提高鍍膜的均勻性，延長(zhǎng)石墨舟的使用壽命，在石墨舟飽和工藝中采用先鍍一層SiC膜，然后再渡一層SiNx膜的處理方法，可以有效的降低色差片的比例，增加合格率。