硅片尺寸參數(shù),半導(dǎo)體硅片尺寸對(duì)照表
時(shí)間:2022-12-31來(lái)源:www.maisondekeyser.com
尺寸基本上是4、6、8、12、18英寸。
硅片的尺寸基本是以英寸表述,規(guī)格有4英寸6英寸的,這種多少為實(shí)驗(yàn)室測(cè)試用的。8英寸,這種多數(shù)為中低端芯片用途。12英寸為主流中高端處理器用途。還有18英寸這種未來(lái)可能成為主流的規(guī)格。硅片尺寸越大,其厚度規(guī)定越嚴(yán)格,因?yàn)槌叽绱罅巳菀讖澢1热?8英寸整個(gè)晶圓處理計(jì)算25片一批的450mm晶圓的重量是19磅。
半導(dǎo)體硅片尺寸對(duì)照表
300mm硅片是12英寸。
硅片是制作集成電路的重要材料,通過(guò)對(duì)硅片進(jìn)行光刻、離子注入等手段,可以制成各種半導(dǎo)體器件。根據(jù)尺寸分類(lèi),半導(dǎo)體硅片的尺寸(以直徑計(jì)算)主要有 50mm(2 英寸)、75mm(3 英寸)、100mm(4 英寸)、150mm(6 英寸)、200mm(8 英寸)與 300mm(12英寸)等規(guī)格。
光伏和半導(dǎo)體所需硅料一樣嗎
一樣,也不一樣,最大區(qū)別是純度。
其中半導(dǎo)體行業(yè)使用的硅片全部為單晶硅,目的是為了保證硅片每個(gè)位臵的相同電學(xué)特性。在形狀和尺寸上,光伏用單晶硅片是正方形,主要有邊長(zhǎng) 125mm,150mm,156mm 的種類(lèi)。而半導(dǎo)體用單晶硅片是圓型,硅片直徑有 150mm(6 寸晶圓),200mm(8 寸晶圓)和 300mm(12 寸晶圓)尺寸。在純度方面,光伏用單晶硅片的純度要求硅含量為 4N-6N 之間(99.99%-99.9999%),但是半導(dǎo)體用單晶硅片在 9N(99.9999999%)-11N(99.999999999%)左右,純度要求最低是光伏單晶硅片的 1000 倍。在外觀方面,半導(dǎo)體用硅片在表面的平整度,光滑度和潔凈程度要比光伏用硅片的要求高。
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